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谈一谈MEMS的加速度技术

 2022-01-12

  MEMS加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种:一种是角加速度传感器,也叫陀螺仪;另一种是线加速度计。   加速度传感器的原理随着其应用不同而出现不同...

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RF MEMS移相器的发展现状

 2018-05-19

  由于相控阵雷达、卫星通信等领域应用的需要,RF MEMS移相器在国际上有众多的研究者,工作频段从几GHz到上百GHz,采用的结构有DMTL型、开关线型和反射型。 ...

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RF MEMS的特点

 2018-05-19

  RF MEMS是MEMS(微机电系统)与RF(射频)技术相结合的一门新技术, MEMS器件具有体积小、易集成、功耗低、可靠性高等优点,可代替传统无线通信系统中的半导体器件。RF MEMS不仅可以以器件的...

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浅谈MEMS器件

 2018-05-19

  MEMS器件很快在射频性能上超过固态电子器件,即使早期的MEMS器件在20GHz时的开态插入损耗也只有0.15dB,在相同频率下的一个典型GaAs-FET或PIN二极管的插入损耗接近1dB。   在低于1GHz频率...

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MEMS开关的概念

 2018-05-19

  我们今天所知道的MEMS开关的概念是在20世纪80年代末期90年代初期被提出的。第一份公开发表的论文只是提出了MEMS器件的概念,同时指出了器件设计面临的一些挑战以及它的潜在应用(Koester et...

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