MEMS加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种:一种是角加速度传感器,也叫陀螺仪;另一种是线加速度计。 加速度传感器的原理随着其应用不同而出现不同...
由于相控阵雷达、卫星通信等领域应用的需要,RF MEMS移相器在国际上有众多的研究者,工作频段从几GHz到上百GHz,采用的结构有DMTL型、开关线型和反射型。 ...
RF MEMS是MEMS(微机电系统)与RF(射频)技术相结合的一门新技术, MEMS器件具有体积小、易集成、功耗低、可靠性高等优点,可代替传统无线通信系统中的半导体器件。RF MEMS不仅可以以器件的...