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谈一谈MEMS的加速度技术

 2022-01-12

  MEMS加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种:一种是角加速度传感器,也叫陀螺仪;另一种是线加速度计。   加速度传感器的原理随着其应用不同而出现不同...

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RF MEMS的特点

 2018-05-19

  RF MEMS是MEMS(微机电系统)与RF(射频)技术相结合的一门新技术, MEMS器件具有体积小、易集成、功耗低、可靠性高等优点,可代替传统无线通信系统中的半导体器件。RF MEMS不仅可以以器件的...

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MEMS开关的概念

 2018-05-19

  我们今天所知道的MEMS开关的概念是在20世纪80年代末期90年代初期被提出的。第一份公开发表的论文只是提出了MEMS器件的概念,同时指出了器件设计面临的一些挑战以及它的潜在应用(Koester et...

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