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RF MEMS的特点

时间:2018-05-19 16:44:14

  RF MEMS是MEMS(微机电系统)与RF(射频)技术相结合的一门新技术, MEMS器件具有体积小、易集成、功耗低、可靠性高等优点,可代替传统无线通信系统中的半导体器件。RF MEMS不仅可以以器件的方式应用于电路,例如MEMS开关、MEMS电容、MEMS谐振器;还可以将单个器件集成到同一芯片组成组件和应用系统,例如滤波器、压控振荡器、移相器、相控阵雷达天线等,这大大缩减了传统器件的体积,降低了功耗,提升了系统的性能。RF MEMS开关作为RF MEMS中的重要器件之一,其性能对微机电系统的影响日益深远。